电阻加热蒸腾源及控制器研发

  电阻加热坩埚的方法,对资料来热蒸腾。该部件选用超高线 法兰), 具有水冷和手动挡板功用。其水冷采取了特别规划结构,具有水冷效率高、不需要区别进水/ 出水口的特色。专利规划的坩埚结构,能够在不损坏加热钨丝的情况下替换蒸腾资料。现在 该设备已在国内外多家单位做了尝试性推行,包含中科院物理所、清华大学、北京大学、 南京大学、华东理工大学、法国 CEA、美国加州大学 Irvine 分校、美国 LBNL,作用杰出。 其首要技术指标为:

  超高真空兼容性: 是 – 可烘烤至 200℃腔内直径: 34mm腔内长度: 110mm~500mm 可定制源数量: 1冷却方法: 水冷坩埚资料: 99.8%三氧化二铝作业时分的温度: 250℃~1200℃温度丈量: 有 K型热电偶

  最大输出功率: 576W(36V/16A)--可定制加热方法: 沟通控温表头: 多种控温表头可选温度传感器: K 型热电偶(C 型热电偶可定制)

  首要用于分子束外延体系和其他超高真空设备中的有机资料及低温无机资料的热蒸 发堆积。使用场景规模广,每年国内市场需求在数百套以上。